特許
J-GLOBAL ID:200903051704427920

積層構造体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-085114
公開番号(公開出願番号):特開2007-266042
出願日: 2006年03月27日
公開日(公表日): 2007年10月11日
要約:
【課題】 積層構造体のキャビティー内に、精度良く凸部を形成することができる積層構造体の製造方法を提供することにある。【解決手段】 第1の積層用シート5と、平面視で枠状の凸部2を有する支持体1と、支持体1上で且つ枠状の凸部2の外側に搭載されるとともに、平面視で枠状をなす第2の積層用シート4bと、支持体1上で且つ枠状の凸部2の内側に搭載される第3の積層用シート4aとを準備する第1の工程と、第2及び第3の積層用シート4が、第1の積層用シート5と支持体1との間に挟まれるように、張り合わせる第2の工程とを経る。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1の積層用シートと、 平面視で枠状の凸部を有する支持体と、 該支持体上で且つ前記枠状の凸部の外側に搭載されるとともに、平面視で枠状をなす第2の積層用シートと、 前記支持体上で且つ前記枠状の凸部の内側に搭載される第3の積層用シートと、を準備する第1の工程と、 前記第2及び第3の積層用シートが、前記第1の積層用シートと前記支持体との間に挟まれるように、張り合わせる第2の工程とを経ることを特徴とする積層構造体の製造方法。
IPC (1件):
H01L 23/12
FI (1件):
H01L23/12 N
引用特許:
出願人引用 (1件)

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