特許
J-GLOBAL ID：200903051705843219
レジストコート方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-154588
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002777
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】従来の光メモリー製造用レジストコート方法はスピンコーターの周辺およびチャンバー内の温度、湿度を管理してコートする方法であったが、温度および湿度を高い精度で管理することは非常に困難であり、高価な設備が必要となる。しかし、本発明ではコート中のチャンバー内の温湿度、ガラス原盤の温度、レジストの温度、シンナーの蒸発量の変動をセンサーで感知してコーターの回転数を自動制御してコートするため、高価な設備を設けずに常に一定な膜厚を得ることができるレジストコート方法。
請求項（抜粋）：
ガラス原盤上へのレジストコート方法においてコート中のチャンバー内の温湿度、ガラス原盤の温度、レジストの温度、シンナーの蒸発量の変動をセンサーで感知してコーター回転数を膜厚が一定になるように自動制御してコートすることを特徴とするレジストコート方法。
IPC (4件)：
G11B 7/26 511
, B05D 1/40
, B29C 33/38
, B29L 17:00
