クリーンルーム・システム及びその管理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大澤斌 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283741
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132346
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】従来のクリーンルーム・システムに比べて更にクリーン度の維持機能及び安全性が高いクリーンルーム・システムを提供する。【解決手段】本クリーンルーム・システム10は、出入口14を有するクリーンルーム12と、外部に通ずる出入口18を有し、クリーンルームの出入口を経由してクリーンルームに通じる前室とを備える。前室は、クリーンルームの室内圧及び外部の気圧に対して所定差圧を有する室内圧に維持されている。引き戸式扉20がクリーンルームの出入口に取り付けらている。引き戸式扉は、クリーンルームの出入口の境界面及びクリーンルームの壁面に沿って平行移動して出入口を水平方向に開閉するので、クリーンルーム内の空気の容積を瞬間的に変動させるようなことはない。よって、クリーンルームと前室との間の空気流れの逆転が生じるようなことはないので、クリーンルームへの汚染物の侵入又はクリーンルームからの汚染物の外部拡散が生じない。

請求項（抜粋）：

出入口を有するクリーンルームと、クリーンルームの出入口を介してクリーンルームに通じ、かつクリーンルームの室内圧に対して所定差圧で室内圧が維持されている前室とを備え、前室を経由してクリーンルームに出入りするようにしたクリーンルーム・システムにおいて、クリーンルームの出入口を開ける際に、クリーンルームの室内圧と前室の室内圧との間の差圧が低下し、所定差圧と逆方向の差圧が発生する現象が生じないようにしてクリーンルームの出入口を開閉する構造の開閉扉がクリーンルームの出入口に設けられていることを特徴とするクリーンルーム・システム。

引用特許：

審査官引用 (3件)

エアシャワー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-113940 出願人：日立プラント建設株式会社
特開昭63-147079
特開昭63-147079

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