特許
J-GLOBAL ID:200903051715057432

検査治具及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-203137
公開番号(公開出願番号):特開2001-033485
出願日: 1999年07月16日
公開日(公表日): 2001年02月09日
要約:
【要約】【課題】検査治具の検査電極を被検査体に押圧して導通検査を行う際、検査電極及び配線層の一部が絶縁基板から部分的に剥離することなく、信頼性の高い導通検査ができる検査治具を提供することを目的とする。【解決手段】絶縁基板11の片側同一面に検査電極16aと配線層12及び保護層13を形成し、保護層13を除く配線層12及び絶縁基板11上に薄膜導体層を形成し、絶縁基板11、配線層12の一部及び保護層13上に絶縁樹脂層14を形成し、配線層12上の所定部位の保護層13及び絶縁樹脂層14に開口部15を形成し、開口部15に電解ニッケルめっきにより検査電極16を形成し、表面研磨後絶縁樹脂層14を溶解・剥離して絶縁基板11の片側同一面に配線層12、保護層13及び検査電極16aが形成された検査治具10を得る。
請求項(抜粋):
電気的に接続された検査電極と配線層が、絶縁基板の片側同一面に形成されていることを特徴とする検査治具。
IPC (3件):
G01R 1/073 ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00
FI (3件):
G01R 1/073 F ,  G01R 31/02 ,  H05K 3/00 T
Fターム (15件):
2G011AA15 ,  2G011AA21 ,  2G011AB08 ,  2G011AC09 ,  2G011AC14 ,  2G011AC31 ,  2G011AE01 ,  2G011AE02 ,  2G011AF06 ,  2G014AA02 ,  2G014AA13 ,  2G014AB51 ,  2G014AB59 ,  2G014AC06 ,  2G014AC09

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