特許
J-GLOBAL ID：200903051715667265
浮揚装置及び該装置を具備した基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350512
公開番号（公開出願番号）：特開平9-169427
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板など、比較的大きな可撓性を有する物体を取り扱う場合に、塵埃の付着及び損傷を極力抑えながら撓みを防止することに寄与する浮揚装置と、基板搬送装置とを提供すること。【解決手段】 振動体11が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を与える。従って、ガラス基板3等を例えば搬送する場合に、このガラス基板等の端部のみにベルトを接触させて支えるようにし、以て、塵埃の付着及び損傷を極力抑え、ガラス基板等の中央部分に対して上記浮揚力を与えることにより撓みをほぼ0として曲り癖等の発生を防止する。
請求項（抜粋）：
振動体と、該振動体を励振する超音波励振手段とを有し、該振動体が発する音波に基づく疑似定在波の節のエネルギーによって浮揚力を与えることを特徴とする浮揚装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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