表示装置の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲葉良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-046904
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372921
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【解決課題】特性の異なる薄膜を同一基板上にパターニング成膜する場合、薄膜材料液体がバンクを超えて流れ出るという事態を防止し、平坦且つ均一厚みの色むらなどの無い安定した特性の薄膜層を確実に高精度に比較的簡単に歩留まり良く形成でき、高精細な微細パターニングを可能とすること。【構成】基板においてバンクによって区切られた領城に薄膜形成材料を充填する工程を含む表示装置の製造方法であって、この方法は、前記バンクが形成された基板全表面に一連のプラズマ処理を均一に行い、この一連の処理により前記バンク表面の前記薄膜形成材料に対する非親和性を、前記バンクによって区切られた領域の表面のそれに対して高める工程を有する。

請求項（抜粋）：

基板においてバンクによって囲まれた領城に薄膜形成材料を充填する工程を含む表示装置の製造方法であって、前記バンクが形成された基板全表面に一律にプラズマ処理を行い、このプラズマ処理により前記バンク表面の前記薄膜形成材料に対する非親和性を、前記バンクによって囲まれた領域の表面のそれに対して高める工程を有する表示装置の製造方法。

IPC (8件)：

G09F 9/00 342 , G02B 5/20 101 , G09F 9/30 349 , H05B 33/10 , H05B 33/12 , H05B 33/14 , H05B 33/22 , H01L 33/00

FI (8件)：

G09F 9/00 342 Z , G02B 5/20 101 , G09F 9/30 349 Z , H05B 33/10 , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A , H05B 33/22 Z , H01L 33/00 N

Fターム (41件)：

2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB24 , 2H048BB47 , 3K007AB04 , 3K007AB17 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB07 , 3K007CB01 , 3K007DB03 , 3K007EA00 , 3K007FA01 , 5C094AA08 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA13 , 5C094ED03 , 5C094FB02 , 5C094FB05 , 5C094JA01 , 5C094JA09 , 5F041AA14 , 5F041BB26 , 5F041CA45 , 5F041CA88 , 5F041DA20 , 5F041EE22 , 5F041FF06 , 5G435AA04 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435CC09 , 5G435CC12 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK07 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-121702
カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-011258 出願人：旭硝子株式会社
カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038405 出願人：旭硝子株式会社

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