特許
J-GLOBAL ID：200903051717955470
可変容量コンデンサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313208
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153436
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 大きな静電容量が得られ、静電容量の可変率が大きく、単一素子ながら、電気的耐圧性に優れた小型の可変容量コンデンサを提供する。【解決手段】 絶縁支持台6の表面の支持部7の上端には、梁8の一端側が固定され、梁の他端側は可動部の側面に固定されて絶縁支持台と平行に保持される。梁の両端側の可動電極10と対向する絶縁支持台の表面には、第一及び第二の駆動電極11A及び11Bが設けられ、第二の駆動電極と隣接する絶縁支持台の表面には検出電極12が設けられる。第一又は第二の駆動電極と可動電極との間に外部バイアス電圧を印加すると、両者の間にク-ロン力が発生し、可動部は梁の中心軸を回転軸として第一又は第二の駆動電極に引き寄せられる。可動部は、ク-ロン力と梁の捩じれの復元力と釣り合う位置まで変位して静止し、検出電極と可動電極の対向する部分との間の平均距離が変り、両者間の静電容量が変化する。
請求項（抜粋）：
絶縁支持台と、該絶縁支持台の表面に立設して形成された一対の支持部と、該支持部間に延在した梁と、前記支持台から離間して前記梁に中央部を保持された可動部と、該可動部を前記梁部分を中心にして回動させる回転力を発生する手段と、前記可動部の回動の程度を静電容量の変化として検出する検出手段とを備え、該検出手段からは、前記回転力と前記梁に生じたねじれの復元力が均衡して前記可動部が静止した位置の静電容量を得ることを特徴とする可変容量コンデンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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