特許

J-GLOBAL ID：200903051726293561

多結晶MgO蒸着材

発明者： 竹之内 武義 ,  近江園 仁
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 町野 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-226646
公開番号（公開出願番号）：特開2000-063171
出願日： 1998年08月11日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュが殆ど発生せずかつ成膜されるMgO膜の厚さを略均一に形成できる。【解決手段】 本発明の多結晶MgO蒸着材はMgO純度99.90%以上、特に、カーボン量が30ppm以下であり、かつ相対密度が98%以上の多結晶MgOの燒結体ペレットからなる。更に多結晶MgOの燒結体ペレットに含まれる。Si及びAlの不純物がそれぞれ元素濃度で150ppm以下、Caの不純物が元素濃度で200ppm以下、Feの不純物が元素濃度で50ppm以下、Cr、V及びNiの不純物がそれぞれ元素濃度で10ppm以下、Na及びKの不純物がそれぞれ元素濃度で20ppm以下、Zrの不純物が元素濃度で150ppm以下である。

請求項（抜粋）：

MgO純度99.90%以上でカーボン量が30ppm以下であり、かつ相対密度が98%以上の多結晶MgOの燒結体ペレットからなる多結晶MgO蒸着材。

IPC (3件)：

C04B 35/053 ,  C23C 14/24 ,  H01J 11/02

FI (3件)：

C04B 35/04 A ,  C23C 14/24 E ,  H01J 11/02 B

Fターム (28件)：

4G030AA03 ,  4G030AA04 ,  4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA17 ,  4G030AA22 ,  4G030AA27 ,  4G030AA29 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA45 ,  4G030AA60 ,  4G030CA01 ,  4G030GA28 ,  4G030GA29 ,  4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BB08 ,  4K029BD00 ,  4K029DB05 ,  4K029DB17 ,  5C040GE07 ,  5C040KA04 ,  5C040KB08 ,  5C040KB19 ,  5C040KB30 ,  5C040MA24 ,  5C040MA26