特許

J-GLOBAL ID：200903051727559093

基板の光照射式熱処理装置

発明者： 佐藤 徹 ,  西井 清文 ,  千葉 隆俊 ,  安江 淳
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202830
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037833
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 熱処理後の基板をチャンバーから取り出す際における基板の冷却効果を高めて装置のスループットを向上させ、チャンバー冷却時における基板の温度分布を無くして熱処理の均一性を向上させ、ランプ寿命の短縮といった不都合を無くす。【構成】 光透過性材料で形成され基板10を収容するチャンバー12の壁面と、チャンバー外に配設されチャンバー内の基板を光照射加熱する光照射加熱用ランプ14との間に、光透過性材料で形成されチャンバー壁面に対向する側に複数個の吹出し孔20が分配して穿設された吹出しパイプ体18を介設する。

請求項（抜粋）：

光透過性材料で形成され、内部に被処理基板を1枚ずつ収容するチャンバーと、このチャンバーの上面もしくは下面又は上・下両面に対向するように配設され、前記チャンバー内に収容された被処理基板に光照射して被処理基板を加熱する光照射加熱用ランプと、前記チャンバーを冷却する冷却手段とを備えてなる基板の光照射式熱処理装置において、前記冷却手段を、光透過性材料でパイプ状にかつ同一平面内において屈曲させて形成され片面側に複数個の吹出し孔が分配して穿設された吹出しパイプ体を、前記チャンバーの壁面と前記光照射加熱用ランプとの間に、チャンバーの壁面と平行にかつ前記吹出し孔がチャンバーの壁面に対向するように介設し、前記吹出しパイプ体の一端部を冷却用気体の供給源に流路接続して構成したことを特徴とする基板の光照射式熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/26 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-139022
  
• 特開昭62-254435
  
• 特開平1-256116
  
• 特開昭60-208824