高エネルギー粒子流束の一体的レンズ、このようなレンズの製法、および分析装置におけるその利用、および放射線治療およびリソグラフィー用装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉武賢次 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-532553
公開番号（公開出願番号）：特表2003-512631
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2003年04月02日
要約：

【要約】本発明はレンズによる放射線収束度を増大し、より高いエネルギー粒子を使用し、レンズの使用される装置の係数をこれらのファクタに依存して増大することを可能とする。すなわち、最小集積度のサブレンズ18は毛管の同時的引き抜きと形成によって成長する束状のチャンネルパッケージ5である。これより高い格集積度のサブレンズは同時的引き抜きと形成によって成長する先行集積度のサブレンズパッケージである。サブレンズは、先行集積度のサブレンズ間のスペース中の圧力より高いチャンネルの内部ガス圧において、また材料を軟化しチャンネル壁体を組継ぎする前記操作を繰り返すことによって成長する。レンズを製造するために、管状外皮の中に配置されたストック(毛管)束、または先行集積度で形成されたストック束が加熱炉の中に送られ(第1段階)、次にストック束を装入速度より高い速度で加熱炉から引き出す。次の段階において、ストックから製品を切り出し、最終段階において引き抜き速度を変動させ、形成されたバレル型厚み部分を切断することによって製品が形成される。

請求項（抜粋）：

壁体によって相互に隣接し、完全外部反射を成し、また使用されるソースの放射線を捕捉するように入力端部において配向された中性または荷電粒子流束から成る放射線を変換するレンズにおいて、前記レンズは種々の集積度のサブレンズパッケージとして形成され、最小集積度のサブレンズは放射線輸送チャンネルのパッケージを成し、このパッケージは、毛管のチャンネル内圧より低い毛管間スペース中のガス媒体圧力で、また隣接毛管の壁体の物質を軟化させてこれらの壁体を組継ぎする温度で、毛管を一緒に引き抜き形成することによって成長し、これ以上の集積度の各サブレンズグループは先行の集積度のサブレンズパッケージを成し、このパッケージは毛管のチャンネル内圧より低い毛管間スペース中のガス媒体圧力で、また隣接毛管の壁体の物質を軟化させてこれらの壁体を組継ぎする温度で毛管を一緒に引き抜き形成することによって成長し、最高集積度のすべてのサブレンズは統一構造の中に結合され、この統一構造は毛管チャンネルの内部の圧力より低い毛管の間のスペースのガス媒体圧力において、また隣接毛管の壁体の材料を軟化して組継ぎする温度において、毛管束を一緒に引き抜き形成することによって成長し、前記統一構造の両端が切断されてレンズの入力端面と出力端面とを成すことを特徴とする放射線変換レンズ。

IPC (7件)：

G21K 1/06 , A61N 5/10 , G01N 23/223 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , G21K 5/02 , H01L 21/027

FI (8件)：

G21K 1/06 D , A61N 5/10 K , G01N 23/223 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , G21K 5/02 N , G21K 5/02 X , H01L 21/30 531 A

Fターム (25件)：

2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001AA10 , 2G001BA04 , 2G001BA14 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001DA06 , 2G001EA01 , 2G001GA08 , 2G001KA01 , 2G001KA03 , 2G001LA01 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 4C082AC02 , 4C082AC03 , 4C082AC05 , 4C082AC07 , 4C082AE01 , 4C082AE03 , 4C082AG01 , 5F046GA02 , 5F046GA03 , 5F046GB02

引用文献：

審査官引用 (1件)

ロシア国発明特許第2096353号(C1)公報

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