特許
J-GLOBAL ID：200903051731853370
液晶表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-164508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015017
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 静電気による配線や絶縁膜の破壊、トランジスタ特性の変化を防止するために周辺に短絡した配線を、工程を追加することなく分離する。【解決手段】 スパッタ法等を用い、第2の導電膜39として第1の導電膜と同じ材料からなる導電膜を1000〜3000Å程度の膜厚で全面に堆積し、フォトリソグラフィーにより信号線4、信号線側入力パッド23、ソース電極19及びドレイン電極18等を所定パターンに形成する。またこの第2の導電膜のパターン形成時に、分離用コンタクトホールの第2の導電膜と第1の導電膜の積層膜もエッチングにより除去し、走査線と周辺共通線の分離を行う。
請求項（抜粋）：
液晶と、走査線及び信号線と、画素電極と、薄膜トランジスタと有する液晶表示装置であっって、前記液晶は、互いに平行に対向する第1の基板と第2の基板の間隙に挟持されたものであり、前記走査線及び信号線は、前記第1の基板の液晶と接する側の主面上に配置されたものであり、前記画素電極は、前記走査線と信号線の交差部に形成されたものであり、前記薄膜トランジスタは、前記走査線及び信号線の交点に近接して配置され、前記走査線及び画素電極にソース及びドレイン電極が接続され、前記走査線にゲート電極が接続されたものであり、前記第2の基板は、ブラックマトリクス、カラーフィルター、およびその上に形成された透明導電膜を有しており、さらに前記薄膜トランジスタは、逆スタガー型の構造のものであり、前記走査線と前記信号線は、同一の材料からなり、かつ前記全ての走査線は、前記第1の基板周辺部に配置された共通線に接続されたものであることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/78 612 C
