特許
J-GLOBAL ID:200903051735241191
高純度透明石英ガラス及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
本多 小平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-249417
公開番号(公開出願番号):特開平8-119664
出願日: 1994年10月14日
公開日(公表日): 1996年05月14日
要約:
【要約】【構成】 非晶質シリカ粉末を成形し、真空雰囲気下に於て、成形体を構成する非晶質シリカ粒子を高温型クリストバライト粒子に転化させた後、該クリストバライト粒子を溶融して、各不純物の含有量がそれぞれlppm以下であり、かつOH基含有量が20ppm以下であり、1200°Cでの粘性値が1012.0ポアズ以上であることを特徴とする高純度透明石英ガラスを製造する。【効果】 本発明の方法により得られる石英ガラスは、高純度で高温粘度特性に優れた透明ガラスであり、且つ、本発明の製造方法によれば、生産的にも安価に高純度透明石英ガラスが作製可能である。
請求項(抜粋):
非晶質シリカ粉末を成形し、高温型クリストバライト結晶構造に転化後、溶融して得られる透明石英ガラスであって、Li,Na,Mg,Ca,K,Al,Ti,Cr,Ni,Zn,Zr,Mo,Fe及びClの含有量がそれぞれlppm以下、及びOH基含有量が20ppm以下であり、1200°Cでの粘性値が1012.0ポアズ以上であることを特徴とする高純度透明石英ガラス。
IPC (2件):
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (15件)
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特開平2-124739
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特開平2-124739
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クリストバライトの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-032901
出願人:日東化学工業株式会社
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特開平4-182321
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特開平4-182321
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特開昭62-212234
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特開昭62-212234
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特開昭62-003011
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特開昭62-003012
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特開昭62-283809
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特開昭62-283809
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特開昭62-283810
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特開昭62-283810
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