特許
J-GLOBAL ID：200903051740158588
ガラスセラミックス基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064797
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259063
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】 グリーンシートの焼成を加圧下に行っても、分割の起点とするのに十分な深さを持つ溝が確実に形成でき、かつ焼成中の反りや平面方向の収縮が抑制された寸法精度に優れた多数個取り用ガラスセラミックス基板を製造する。【解決手段】 ガラスセラミックス・グリーンシートの少なくとも片面に分割用の溝を形成し、この溝にガラスセラミックスの焼結温度では焼結しない材料 (例、セラミックスまたは金属材料) を充填し (例、ペースト化して) 、このグリーンシートの両面に、ガラスセラミックスの焼結温度では焼結しないセラミックス・グリーンシートを圧着させてから、好ましくは加圧下で焼成してガラスセラミックス・グリーンシートを焼結させ、未焼結の材料を除去する。
請求項（抜粋）：
表面に分割用の溝を有する多数個取り用ガラスセラミックス基板の製造方法であって、?@ガラスセラミックス系の第1のグリーンシートの少なくとも片面に分割用の溝を形成し、?Aこの溝中に第1のグリーンシートの焼結温度では焼結しない材料を挿入し、?B第1のグリーンシートの少なくとも溝を設けた表面に、第1のグリーンシートの焼結温度では焼結しない第2のグリーンシートを圧着させ、?C得られた積層体を、第1のグリーンシートが焼結し、第2のグリーンシートが焼結しない温度で焼成し、?D焼成体から、未焼結の第2のグリーンシートと、第1のグリーンシートの溝に挿入した材料とを除去する、という工程を含む、前記ガラスセラミックス基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/64 G
, H01L 23/14 C
