特許
J-GLOBAL ID：200903051741288973
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-319065
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152587
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 大掛かりな変更をせずにステージ上の基板の保持力を強固にすることができる基板保持装置を提供する。【構成】 照明用の開口部1aを有し、矩形のガラス基板2を載置するベース1と、ベース1上のガラス基板2の一端面2aとこの一端面と対向する他端面2bとを挟持する挟持部材8,9とを備えている。ベース1上のガラス基板2の一端面2aと他端面2bとが挟持部材8,9により挟持されて保持されるので、その挟持力を強くするだけでガラス基板2の保持力が強固になる。
請求項（抜粋）：
所定のパターンが形成された基板と、前記所定のパターンを照明する照明用の開口部を有し、前記基板を載置するステージと、前記ステージ上の前記基板の一端面とこの一端面と対向する他端面とを挟持する挟持手段とを備えていることを特徴とする基板保持装置。
IPC (3件)：
G02F 1/13 101
, G02B 21/26
, G02F 1/1333 500
