真空容器用真空排気装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180165
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：

【要約】【目的】排気性能を向上できる真空容器用真空排気装置を提供する。【構成】真空排気装置は、ターボ分子ポンプ(主ポンプ)3と、油回転式真空ポンプ(補助ポンプ)11と、各ポンプ間に配置され油回転式真空ポンプ11からの油蒸気を吸着するフィルタ7を有する第1排気ライン4と、第1排気ライン4に並列接続された第2排気ライン5と、油回転式真空ポンプ11から遠ざかるに従い加熱温度が上昇するような温度勾配で真空チャンバ1,ターボ分子ポンプ3及び第2排気ライン5を加熱するヒータ12,13とを備えている。

請求項（抜粋）：

真空容器に接続された、前記真空容器を真空排気するための主ポンプと、前記主ポンプに接続され、油を用いて前記真空容器を真空排気するための補助ポンプと、前記各ポンプ間に配置され、前記補助ポンプからの油蒸気を吸着する吸着トラップを有する第1排気ラインと、前記各ポンプ間において前記第1排気ラインに並列に接続された第2排気ラインと、前記真空容器、主ポンプ及び第2排気ラインの周囲に配設され、前記補助ポンプから遠ざかるに従いその加熱温度が上昇するような温度勾配で前記真空容器、主ポンプ及び第2排気ラインを加熱する加熱手段と、を備えた真空容器用真空排気装置。

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