特許
J-GLOBAL ID:200903051751826515
積層型圧電素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-066490
公開番号(公開出願番号):特開平11-266039
出願日: 1998年03月17日
公開日(公表日): 1999年09月28日
要約:
【要約】【課題】 機械的強度不足と短絡とを著しく改善した積層型圧電素子を提供すること。【解決手段】 圧電材の縦効果を使っていた従来の構造に代え、横効果を用いる。また、円筒状或いは円柱状或いはこれらに類似の形状とする。同軸上に配列された円筒状の圧電材1と、電極2、3より成り、電極2と3間に電圧を加えると、円筒軸垂直方向(圧電材1膜厚方向)に電界が生じる。通常は、外側に露出した電極2を基準電位(アース電位)とし、電極3に、任意の電位を与える。抗電界以上の電界を加えることにより、圧電材1の分極方向は電界方向に揃う(分極処理)。すなわち、分極方向は、層間で互い違いに反対方向を向くことになる。分極処理を施した電圧と同じ極性の電圧を印可すると、素子は軸方向に縮む。逆方向且つ抗電界以下では伸びる。このように軸方向に伸縮する。圧電材1の厚みと円筒軸方向長さは、所定の印可電圧で希望の歪量が得られるように設定する。
請求項(抜粋):
薄い圧電材と該圧電材に電圧を加えるための電極とを複数層積層させた積層型圧電変位素子であり、伸縮駆動方向と該圧電材に加えられる電界方向とが互いに直交するよう構成されたことを特徴とする積層型圧電素子。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 41/08 S
, H02N 2/00 Z
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