特許

J-GLOBAL ID：200903051757575859

クリーンルーム

発明者： 屋敷 隆 ,  岩堀 泰雄 ,  浦山 光延 ,  岡本 明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-277388
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119689
出願日： 1995年10月25日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】清浄エアの供給量を従来と比較して大幅に削減でき、このために清浄エアの搬送費用を低減できるクリーンルームを提供する。【解決手段】クリーンルーム1を清浄度に応じて小部屋に仕切り、装置の稼働状態あるいは部屋の入室人員を各部屋毎に感知する。仕切られた小部屋内の装置が稼働したり、あるいは入室人員が増加したりするとコントローラ12がファンフイルタユニット3、4、5のファン10の回転数を高くし、また仕切られた小部屋内の装置がオフした場合や入室人員が減少するとコントローラ12がファンフイルタユニット3、4、5のファン10の回転数を低くし、所定の清浄度に維持する。

請求項（抜粋）：

空調装置からクリーンルームの天井室に供給された清浄エアを、天井面に配設された複数のファンフイルタユニットで加圧して前記クリーンルームに吹き出し、前記クリーンルームの床面から排気するクリーンルームに於いて、清浄度に応じて前記クリーンルームを部屋に仕切り、前記各部屋の前記天井面に設置された前記ファンフイルタユニットのファンの回転数を、装置の稼働状態、あるいはその部屋の入室人員に応じて自動的に制御することを特徴とするクリーンルーム。