特許

J-GLOBAL ID：200903051758757098

ロールコート用放射線感応性組成物

発明者： 薄田 謙二
出願人/特許権者： クラリアント インターナショナル リミテッド
代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-347578
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186638
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【目的】 ロールコート法により基板上に塗布した際に塗布ムラの発生しにくいロールコート用放射線感応性組成物を提供すること。【構成】 ロールコート用放射線感応性組成物の溶剤として、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールの少なくとも1種を当該溶剤中20重量%以下含有する混合溶剤を用いる。プロピレングリコール或いはジプロピレングリコール以外の溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールt-ブチルエーテル、エチルラクテート及びこれらの混合物などが好ましいものとしてあげられる。

請求項（抜粋）：

放射線感応性組成物の溶剤として、プロピレングリコール及びジプロピレングリコールから選ばれた少なくとも1種を該溶剤中20重量%以下含有する混合溶剤を用いることを特徴とする、ロールコーターによる塗布性の優れたロールコート用放射線感応性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 501 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R