特許
J-GLOBAL ID：200903051759433091
真空アーク装置及び真空アーク点火方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-245752
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082257
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 アーク電極間距離,真空度などにかかわらず真空アークを確実に点火する装置及び方法を安価に提供する。【構成】 真空アーク装置において、真空アーク陰極表面を局所的に加熱する加熱源を備える。加熱としては、レーザービーム9,イオンビーム13,電子ビーム15,直流プラズマジェット17などを利用する。
請求項（抜粋）：
真空アーク装置において、真空アーク陰極表面を局所的に加熱する加熱手段を備える真空アーク装置。
IPC (3件)：
H05B 7/18
, C23C 14/24
, H05H 1/48
