特許

J-GLOBAL ID：200903051762828749

圧電薄膜共振子の電極構造及びその形成方法

発明者： 中川原 修 ,  志牟田 亨 ,  牧野 孝裕
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 西澤 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374361
公開番号（公開出願番号）：特開2002-185285
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【課題】 接着層との相互拡散がなく、基板への密着力に優れた下部電極膜を備えた圧電薄膜共振子の電極構造及びその形成方法を提供する。【解決手段】 接着層として機能するTiOX(0≦X≦2)膜11を介して、Pt電極膜(下部電極膜)3を基板1上に配設するとともに、TiOX膜11の酸素組成Xの値を、基板1側からPt電極膜(下部電極膜)3側に向かって、膜厚方向に連続的に変化させる。また、TiOX(0≦X≦2)膜11の、基板1と接する界面の組成(初期組成)がTiであり、Pt電極膜(下部電極膜)3と接する界面の組成(最終組成)がTiO2であるように、TiOX(0≦X≦2)膜11の組成を制御する。

請求項（抜粋）：

基板上に下部電極膜、圧電薄膜、上部電極膜を順に積層形成してなる圧電薄膜共振子の電極構造であって、前記下部電極膜が、接着層として機能するTiOX(0≦X≦2)膜を介して基板上に配設されており、かつ、前記TiOX膜の酸素組成Xの値が、前記基板側から前記下部電極膜側に向かって、膜厚方向に連続的に変化していることを特徴とする圧電薄膜共振子の電極構造。

IPC (4件)：

H03H 9/17 ,  C23C 14/08 ,  H01L 21/316 ,  H03H 3/02

FI (4件)：

H03H 9/17 F ,  C23C 14/08 E ,  H01L 21/316 Y ,  H03H 3/02 B

Fターム (29件)：

4K029AA06 ,  4K029BA17 ,  4K029BA48 ,  4K029BB01 ,  4K029BB02 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA02 ,  4K029CA06 ,  4K029DB20 ,  4K029EA04 ,  4K029FA07 ,  4K029GA01 ,  5F058BA10 ,  5F058BD01 ,  5F058BD04 ,  5F058BD05 ,  5F058BF12 ,  5F058BF17 ,  5F058BF29 ,  5F058BF73 ,  5J108BB04 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE07 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108KK02 ,  5J108MM14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 誘電体薄膜素子用電極およびその製造方法とそれを用いた超音波振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-007034   出願人：三菱電機株式会社
• 圧電体薄膜素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-044815   出願人：三菱電機株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Investigation of Pt/Ti Bottom Electrodes for Pb(Zr,Ti)O3 Films