特許

J-GLOBAL ID：200903051763348740

パーティクル測定方法およびパーティクル測定装置

発明者： 樋口 卓也
出願人/特許権者： 旭サナック株式会社
代理人 (2件)： 佐藤 強 ,  小川 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-278272
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043244
出願日： 2003年07月23日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】 高圧の超純水中のパーティクルの測定精度を向上することができるようにする。【解決手段】 高圧の超純水は、貯水容器3内に配設されたオリフィス4において減圧された後、さらに中空糸膜モジュール8において脱気される。この超純水がパーティクルカウンタ14に供給される。したがって、気泡を誤ってカウントすることがなくなるため、測定精度を向上できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

高圧化された水等の被測定液体を減圧する工程と、 前記減圧された被測定液体を脱気する工程と、 前記減圧されると共に脱気された被測定液体をパーティクルカウンタに供給する工程とを備えたことを特徴とするパーティクル測定方法。

IPC (2件)：

G01N15/06 ,  G01N1/10

FI (2件)：

G01N15/06 E ,  G01N1/10 J

Fターム (11件)：

2G052AA06 ,  2G052AD27 ,  2G052AD29 ,  2G052AD49 ,  2G052CA03 ,  2G052CA04 ,  2G052CA11 ,  2G052EA02 ,  2G052EA17 ,  2G052GA09 ,  2G052JA09