TiNi系ターゲット材料、電極材料、及び実装部品

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263669
公開番号（公開出願番号）：特開2000-096167
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】環境上問題となるCrを含まない組成で、従来のNi-Cu系合金よりも基板との密着力に優れた電極材料、これを形成するためのスパッタリングターゲット材料、及び、この電極を用いた電子回路実装部品を提供する。【解決手段】 Tiを5〜12重量%含むNi基合金からなることを特徴とするスパッタリングターゲット材料、また、これを用いたスパッタリング法で形成される電極材料。また、この組成からなる電極を備えた電子回路実装部品。

請求項（抜粋）：