特許

J-GLOBAL ID：200903051771293769

成膜装置の基板搬送装置

発明者： 濱本 員年 ,  加藤 健太郎 ,  笹川 英四郎 ,  近藤 敬宣 ,  縄田 芳一
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279497
公開番号（公開出願番号）：特開平7-126848
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月16日
要約：

【要約】【目的】 基板ホルダーを使用することなく基板処理を施し、真空容器内の不純物の混入を防ぎ、基板加熱・冷却時間の短縮を図る。【構成】 基板を安定する角度に傾けて保持し上記ヒータに平行かつ水平の方向へ移動することのできる台車、同台車を上記方向で移動させる駆動装置、上記ヒータの加熱面に向き合う位置に設けられたポジショナー、及び上記台車に保持された基板に対しほぼ直交する斜め上方へ向けて上記ポジショナーを移動させる斜め送り装置からなり、同斜め送り装置は、上記台車が上記ヒータとポジショナーの間に到着した時、上記ポジショナーを上記台車上の基板の方向へ移動させ、台車上の同基板を保持させ、更に同ポジショナーを移動させてそれが保持している上記基板をヒータの加熱面に密着させ、上記駆動装置は、空の台車を元に返す。

請求項（抜粋）：

真空容器内でヒータと電極との間で基板に成膜を施す成膜装置のヒータの加熱面へ基板を搬送する装置において、基板を安定する角度に傾けて保持し上記ヒータに平行かつ水平の方向へ移動することのできる台車、同台車を上記方向で移動させる駆動装置、上記ヒータの加熱面に向き合う位置に設けられたポジショナー、及び上記台車に保持された基板に対しほぼ直交する斜め上方へ向けて上記ポジショナーを移動させる斜め送り装置からなり、同斜め送り装置は、上記台車が上記ヒータとポジショナーの間に到着した時、上記ポジショナーを上記台車上の基板の方向へ移動させ、台車上の同基板を保持させ、更に同ポジショナーを移動させてそれが保持している上記基板をヒータの加熱面に密着させ、かつ、上記駆動装置は、空になった上記台車を元に返すことを特徴とする成膜装置の基板搬送装置。

IPC (7件)：

C23C 14/50 ,  B01J 3/02 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/50 ,  C30B 25/12 ,  H01L 21/68