特許
J-GLOBAL ID：200903051771827410
スパッタ用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-040750
公開番号（公開出願番号）：特開2001-234327
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】位置決め精度と作業性とを両立させることができるスパッタ用治具を提供する。【解決手段】フレーム1と、フレーム1の上に位置決めされて配置される上下のマスク2,3と備え、ワークWはマスク2,3の間に挟まれる。フレーム1にはピン10が突設され、マスク2,3にはピン10が所定の隙間をもって挿通される位置決め穴2b,3bが形成される。ピン10はフレーム1およびマスク2,3より熱膨張率の大きな材料で形成される。ピン10と位置決め穴2b,3bとの隙間はスパッタ時の温度上昇によりほぼ閉じられる隙間とされている。
請求項（抜粋）：
フレームと、フレームの上に位置決めされて配置されるマスクとを備え、上記フレームにはピンが突設され、上記マスクにはピンが所定の隙間をもって挿通される位置決め穴が形成され、上記ピンはマスクより熱膨張率の大きな材料で形成され、上記フレームはマスクと同等な熱膨張率を有する材料で形成され、上記ピンと位置決め穴との隙間はスパッタ時の温度上昇によりほぼ閉じられる隙間とされていることを特徴とするスパッタ用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/04 A
, C23C 14/50 D
