特許
J-GLOBAL ID：200903051773879213
リード平坦度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326462
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136237
出願日： 1991年11月14日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 TCPの個々の外部リードの平坦度並びに各辺の平坦度を、レーザ変位計と稼動ステージを組み合わせた機構を持つ測定装置を用いることによって、従来の顕微鏡観察に比べ高精度測定,検査時間短縮を図る。【構成】 レーザアレイ変位計1からTCP28の外部リードまでの距離を測定しながら1軸ステージ19をB→A方向に移動させ、同方向測定終了後、回転ステージ18を90度回転させて同様にBC方向に移動させ、各外部リードの形状を認識するに充分な、レーザアレイ変位計1〜外部リード間距離データを収集してCPU79内の内部メモリ8に記憶する。その後、それらのデータから各外部リード毎に回帰直線と回帰直線に対するデータの最大バラツキを計算(単一リード平坦度演算部7)して各外部リードの平坦度を求め、1辺に関する同様のデータから同様の演算(1辺平坦度演算部9)によって各辺の平坦度を求める。
請求項（抜粋）：
集積回路パッケージの外部リードにレーザ光線を照射して反射光を読み取り電圧変換するレーザ変位計と、該レーザ変位計の出力電圧をデジタイズする機構と、デジタイズした数値を記憶するメモリと、前記数値から外部リードの平坦度を算出する演算機構と、前記数値から前記集積回路パッケージの各辺の平坦度を算出する演算機構と、前記集積回路パッケージを前記レーザ変位計の下部に位置決め、かつ移送する稼動ステージと、前記2つの演算機構が算出した平坦度を記憶する外部記憶機構と、前記2つの平坦度を表示する出力機構と、予め平坦度の規格を記録する外部記憶装置と、該記憶装置の規格と前記2つの演算機構が算出した平坦度とを比較して良否判定を行う機構とを有することを特徴とするリード平坦度測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01B 11/30 101
, H01L 23/50
