特許
J-GLOBAL ID：200903051778971070
ペレット定盤及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-219209
公開番号（公開出願番号）：特開平11-042552
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 ペレットの取付作業が簡単でペレット交換などの補修作業も容易なペレット定盤を得る。【解決手段】 面方向に湾曲するプレート状の台座14に複数の研磨用ペレット15を固着して得られた複数のペレット基板12を、定盤本体11の平坦な取付面11aに、該取付面11aに台座14を強く圧接させて平坦化させた状態でボルト16により固定する。
請求項（抜粋）：
面方向に湾曲するプレート状の台座に複数の研磨用ペレットを固着して得られた複数のペレット基板を、定盤本体の平坦な取付面に、該取付面に台座を強く圧接させて平坦化させた状態で固定したことを特徴とするペレット定盤。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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