特許
J-GLOBAL ID:200903051779786268

マイクロレンズ付き光導波路およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 磯野 道造
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-051634
公開番号(公開出願番号):特開平11-248953
出願日: 1998年03月04日
公開日(公表日): 1999年09月17日
要約:
【要約】【課題】 光素子との接続効率が高く、クロストークも低いマイクロレンズ付き光導波路およびその製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 光導波用のコア、当該コアを取り囲む光閉じ込め用のクラッドおよびコアへ光の入出射を行う光入出射用の端面からなる埋込型の光導波路と当該光導波路の表面に設けられた集光用のマイクロレンズよりなるマイクロレンズ付き光導波路であって、(イ)光入出射用の端面の少なくとも一方の端面が、光の進行方向を変更させるように楔型に形成された楔型端面であり、(ロ)かつマイクロレンズが、(a) 端面の一方のみが楔型端面である場合は、当該楔型端面へ光の入出射を行う光入出射部、もしくは、(b) 端面の両方が楔型端面である場合は、当該楔型端面の少なくとも一方の光入出射部、のいずれか一方の位置に設けられていること、を解決手段とする。
請求項(抜粋):
光導波用のコア、当該コアを取り囲む光閉じ込め用のクラッドおよび前記コアへ光の入出射を行う光入出射用の端面からなる埋込型の光導波路と当該光導波路の表面に設けられた集光用のマイクロレンズよりなるマイクロレンズ付き光導波路であって、(イ) 前記光入出射用の端面の少なくとも一方の端面が、光の進行方向を変更させるように楔型に形成された楔型端面であり、(ロ) かつ前記マイクロレンズが、以下のaもしくはbのいずれか一方の位置に設けられていること、a) 前記端面の一方のみが前記楔型端面である場合は、当該楔型端面へ前記光の入出射を行う光入出射部b) 前記端面の両方が前記楔型端面である場合は、当該楔型端面の少なくとも一方の前記光入出射部を特徴とするマイクロレンズ付き光導波路。

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