特許
J-GLOBAL ID：200903051781715262
金属膜の除去方法、太陽電池の製造方法及び太陽電池
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安富 耕二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107848
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293891
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】光電変換特性の良好な太陽電池を提供する。【解決手段】 金属電極膜4を表面からのレーザ光LBの照射により複数の光電変換素子SC...毎に分離するに際し、前記レーザ光LBの重複部に対応する位置の光電変換層3は、絶縁部5上に被着されている。
請求項（抜粋）：
導電膜上に、非晶質半導体膜を介して被着された金属膜の表面にレーザ光を一部重複させながら走査することで、該金属膜を除去する金属膜の除去方法であって、前記導電膜の、前記レーザ光が重複する部分に対応した箇所に、絶縁部を設ける工程と、該絶縁部上を含んで前記導電膜上に、前記非晶質半導体膜及び金属膜を順次被着する工程と、該金属膜の表面にレーザ光を、前記絶縁部に対応する部分内で重複させながら走査し、前記金属膜を除去することを特徴とする金属膜の除去方法。
IPC (3件)：
H01L 31/04
, B23K 26/00
, H01L 21/302
H01L 31/04 S
, B23K 26/00 C
, H01L 21/302 Z
