特許

J-GLOBAL ID：200903051786563037

そり矯正装置

発明者： 小原 啓史 ,  小方 浩 ,  三浦 泉
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-230960
公開番号（公開出願番号）：特開2001-057500
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】 基板の種類によらずに、そり矯正装置の基板への当接部が、そり矯正動作を終了して基板を離れてから時間をおかずに基板を後工程へ搬送できるそり矯正装置を提供する。【解決手段】 搬送されてきた基板11に対して下方から当接する当接ピン21を備えた基板サポート22と、この基板サポート22を昇降させる昇降シリンダー23とを備え、搬送されてきた基板11に対して下方から当接ピン21を基板11に当接させて基板11のそりを矯正し、そり矯正後に基板サポート22を所定の下限位置まで下降させるそり矯正装置において、前記下限位置が複数の高さに設定され、制御手段28により基板11に応じて下限位置を変更して制御するように構成した。

請求項（抜粋）：

搬送されてきた基板に対して下方から当接する当接部と、この当接部を昇降させる昇降手段とを備え、搬送されてきた基板に対して下方から当接部を基板に当接させて基板のそりを矯正し、そり矯正後に当接部を所定の下限位置まで下降させるそり矯正装置であって、前記下限位置が複数の高さに設定され、制御手段により基板に応じて下限位置を変更して制御するように構成したそり矯正装置。

Fターム (9件)：

5E313AA01 ,  5E313AA11 ,  5E313CC09 ,  5E313DD02 ,  5E313DD03 ,  5E313DD05 ,  5E313DD12 ,  5E313DD13 ,  5E313DD50