特許

J-GLOBAL ID：200903051789634300

エッジ位置検出装置

発明者： 武 田 佳 宏
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-195665
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061921
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 測定対象物の形状やノイズ等の外乱の有無の如何にかかわらず測定対象物のエッジ位置を高精度に検出する。【構成】 光電変換器3からの信号はA/D変換器4により、画素アドレスiを有するディジタル信号Di に変換される。この信号Di の入力に基き微分回路5は微分値ΔDi を出力し、局所変化率演算回路6は局所変化率ΔDiNを出力する。比較器9はΔDiNが閾値以上となっているときのみゲート制御信号を出力し、ゲート回路8は入力したΔDi のうち、このゲート制御信号も入力したときのΔDi のみを出力してΔDi データの領域を限定する。最大微分値検出回路10は、この限定されたデータの中から最大微分値ΔDi max 及びその隣接微分値を出力する。重心位置演算回路11はこれらの値の重心位置PG を演算する。このPG がエッジ位置である。

請求項（抜粋）：

測定対象物のエッジ位置を検出するエッジ位置検出装置において、前記測定対象物の形状についての光信号を電気信号に変換する光電変換器と、前記変換された電気信号を、信号アドレスiを有するディジタル信号Di に変換するA/D変換器と、前記ディジタル信号Di とこれに隣接するディジタル信号Di-1 との差分(Di -Di-1 )を求めることにより、微分値ΔDi を演算する微分回路と、前記信号アドレスの間隔が所定数2Nだけ離れた2つの信号Di+N ,Di-N 間の差分(Di+N -Di-N )を求めることにより局所変化率ΔDiNを演算する局所変化率演算回路と、前記微分回路からの微分値ΔDi を入力し、前記局所変化率ΔDiNが所定閾値以上となる期間だけこの微分値ΔDi を出力するデータ領域限定回路と、前記データ領域限定回路が出力する微分値ΔDi のうちの最大微分値を検出する最大微分値検出回路と、を備え、前記最大微分値検出回路の検出結果に基いて前記エッジ位置の検出を行うことを特徴とするエッジ位置検出装置。