特許

J-GLOBAL ID：200903051804853692

光アレースクリーニング装置及び光アレースクリーニング方法

発明者： 菅原 智信
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-051999
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259512
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：

【要約】【目的】 光アレースクリーニング装置及び光アレースクリーニング方法に関し,光アレーを信頼性よくスクリーニングする装置と方法を目的とする。【構成】 複数の発光素子1a〜1nからなる発光アレー1と, 複数の受光素子2a〜2nからなる受光アレー2と, 発光アレー1と受光アレー2を光学的に結合するレンズ3とを有する光アレースクリーニング装置により構成する。また,この光アレースクリーニング装置を恒温槽に配置し, 複数の発光素子1a〜1nからなる発光アレー1に電流を供給する電源を接続し, 複数の受光素子2a〜2nからなる受光アレー2に出力を監視するモニタを接続し, 発光アレー1を予め定めた温度,電流下で発光させ,それを持続する劣化試験を行い,複数の受光素子2a〜2nの出力の変化から発光アレー1の劣化を検知して,発光アレー1の良否を判定するように構成する。

請求項（抜粋）：

複数の発光素子(1a 〜1n) からなる発光アレー(1) と,複数の受光素子(2a 〜2n) からなる受光アレー(2) と,該発光アレー(1) と該受光アレー(2) を光学的に結合するレンズ(3) とを有することを特徴とする光アレースクリーニング装置。

IPC (3件)：

H01L 33/00 ,  H01S 3/18 ,  H01S 3/25