特許

J-GLOBAL ID：200903051807828621

CMOS/MEMS集積型インクジェット印刷ヘッドのインクチャネルに補助ヒーターを組み込んだ構造及びその製造方法

発明者： コンスタンチン・エヌ・アナグノストポウロス ,  ギルバート・エー・ホーキンズ ,  クリストファー・エヌ・デラメター
出願人/特許権者： イーストマン コダック カンパニー
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-387062
公開番号（公開出願番号）：特開2002-210977
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 ノズル開口でインクが頂部ヒーター領域に到達する前にインクチャネルのインクを予熱するために、CMOSプロセスで形成されたポリシリコン層を酸化物層の底部でヒーターとして使用できる印刷ヘッドを提供することである。【解決手段】 インクジェット印刷ヘッドは、印刷ヘッドの作動を制御するために形成された集積回路を含むシリコン基板から成る。シリコン基板は基板の長さ方向に沿ってインクチャネル群を有する。シリコン基板上の絶縁体層は基板の長さ方向に沿ってノズルボアを有し、各ノズルボアは各インクチャネルに連通する。第1のヒーター要素は、ノズルボアのインクを非対称で加熱するように各ノズルボアに関係する。第2のヒーター要素は第1のヒーター要素の上流側で、かつ、インクがノズルボアに入る直前にインクを予熱するために絶縁体層に形成されている。

請求項（抜粋）：

印刷ヘッドの作動を制御するための集積回路を含み、かつ、インクチャネルを有するシリコン基板と;基板上に支持された絶縁体層若しくは層群であって、基板の長さ方向に沿って形成されかつインクチャネルに連通するインクジェットノズルボア群を有する絶縁体層若しくは層群と;どのインクドロップレットを印刷するかを選択的に決定するようにノズルボアにおいてインクに非対称に熱を付与するためにボアの近傍に形成された第1のヒーター要素と;絶縁体層若しくは層群に形成されかつインクがノズルボアに入る前にインクを予熱する第2のヒーター要素と;を備えたインクジェット印刷ヘッド。

IPC (2件)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/075

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 104 A

Fターム (13件)：

2C057AF99 ,  2C057AG38 ,  2C057AG46 ,  2C057AG83 ,  2C057AK07 ,  2C057AM24 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13 ,  2C057DB01 ,  2C057DC03 ,  2C057DC08 ,  2C057DC19 ,  2C057DE05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 非対称加熱による液滴偏向を行う連続インクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-294259   出願人：イーストマンコダックカンパニー
• 特許第2812264号
  
• 特許第2812264号