試料ホルダ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-126971
公開番号（公開出願番号）：特開2003-316015
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】板状の試料を、その全周にわたって均一な圧力で挟持することができる試料ホルダを提供する。【解決手段】この試料ホルダ10は、板状の試料Wを上下から挟圧するようにして保持する試料ホルダであって、下向きの基準面22aを備えたホルダ本体20と、このホルダ本体20に対して下方から重ねられ、上記基準面22aに対向する押圧部32aを備える押さえ部材30とを備えており、上記押さえ部材30は、上記ホルダ本体20に対して固定される固定部30Aと、この固定部30Aに対して上下方向に移動可能であり、かつ上面に上記押圧部32aが形成された移動部30Bとを備えて構成されており、かつ、上記固定部30Aと上記移動部30Bとの間には、容積変化が可能であり、かつ、密閉された空間Sが形成されるように構成されている。

請求項（抜粋）：

板状の試料を上下から挟圧するようにして保持する試料ホルダであって、下向きの基準面を備えたホルダ本体と、このホルダ本体に対して下方から重ねられ、上記基準面に対向する押圧部を備える押さえ部材とを備えており、上記押さえ部材は、上記ホルダ本体に対して固定される固定部と、この固定部に対して上下方向に移動可能であり、かつ上面に上記押圧部が形成された移動部とを備えて構成されており、かつ、上記固定部と上記移動部との間には、容積変化が可能であり、かつ、密閉された空間が形成されるように構成されていることを特徴とする、試料ホルダ。

IPC (5件)：

G03F 7/20 504 , G11B 7/26 501 , G11B 11/105 546 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (5件)：

G03F 7/20 504 , G11B 7/26 501 , G11B 11/105 546 D , H01L 21/68 N , H01L 21/30 541 L

Fターム (22件)：

2H097AA03 , 2H097AB06 , 2H097CA16 , 2H097GB04 , 2H097LA20 , 5D075FG13 , 5D075GG13 , 5D121AA02 , 5D121BA01 , 5D121BB38 , 5F031CA01 , 5F031HA25 , 5F031HA28 , 5F031HA29 , 5F031HA57 , 5F031HA59 , 5F031KA02 , 5F031KA15 , 5F031MA27 , 5F031NA05 , 5F056EA14 , 5F056EA15

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