特許

J-GLOBAL ID：200903051815336525

真直度測定方法

発明者： 宇田 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 黒田 博道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159301
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009852
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 実時間に近い迅速な測定処理により、連続した高精度な真直度の測定及び評価を可能とする。【解決手段】 変位計を用いて測定物51の真直度を測定するに際し、1つのテーブル11に取り付けた2台の変位計15,17により測定物51の形状を測定し、一方の変位計15は測定物51の形状を検出し、他方の変位計17はテーブル11の誤差運動を検出するとの役割分担を決め、テーブル11の移動に合わせて連続的に測定を行い、2台の変位計15,17の計測値を計算機41により演算処理することによって測定物51の真直度を求める真直度測定方法。

請求項（抜粋）：

変位計を用いて測定物の真直度を測定するに際し、1つのテーブルに取り付けた2台の変位計により測定物の形状を測定し、一方の変位計は測定物の形状を検出し、他方の変位計はテーブルの誤差運動を検出するとの役割分担を決め、前記テーブルの移動に合わせて連続的に測定を行い、前記2台の変位計の計測値を演算処理することによって前記測定物の真直度を求める真直度測定方法。