特許
J-GLOBAL ID:200903051818788656

試料加熱冷却装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 利之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-235851
公開番号(公開出願番号):特開平7-063715
出願日: 1993年08月30日
公開日(公表日): 1995年03月10日
要約:
【要約】【目的】 炉体の周囲に巻き付けた冷却管に液体状態の冷媒を供給するとともに、冷却管の出口を大気に開放することにより、冷媒の消費量を少なくし、炉体の温度安定性を良好にする。【構成】 冷媒容器34内の圧力を所定圧力に維持して、電磁弁44を開けると、冷媒容器34内の液体窒素36が大径管40内を通過していき、大径管40、小径管42、冷却管32は順に液体窒素で冷却される。液体窒素はそれにつれて徐々に気化していき、最終的に、出口管48の先端から気体状態になった窒素が大気中に出ていく。これにより、炉体20は、主として、液体窒素の気化潜熱によって冷却される。出口管48から出ていく窒素ガスの温度は、炉体20の温度に近く、この窒素ガスが、供給管38の周囲や炉体20の外ケース30の周囲を満たすので、炉体20に対する環境温度は炉体20の温度に近付く。これにより、炉体20の温度安定性が良好となる。
請求項(抜粋):
内部に試料を収容できる炉体と、この炉体を加熱する加熱源と、前記炉体を冷却する冷却機構とを有する試料加熱冷却装置において、前記冷却機構は、液体状態の冷媒を収容する冷媒容器と、炉体の周囲に巻き付けられた冷却管と、冷媒容器内の冷媒を前記冷却管に供給する供給管と、冷媒容器内の圧力を調整する圧力調整装置とを有し、前記冷却管の出口が炉体の外部空間に開放されていることを特徴とする試料加熱冷却装置。
IPC (3件):
G01N 25/00 ,  G01N 23/20 ,  G01N 25/20

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