特許
J-GLOBAL ID：200903051822921409
ターボ分子ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-101767
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286599
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】ターボ分子ポンプの加熱を防止すると共に内部部材の効果的なベーキングを可能にする。【構成】ターボ分子ポンプのロータシャフト15内部に棒状の熱伝達手段16を設けると共に該熱伝達手段の一端をロータシャフトより突出させ、突出端で熱の授受を行う様構成し、熱伝達手段によりターボ分子ポンプ内部の熱を外部に抽出し、抽出された熱を放熱させることでターボ分子ポンプ内部迄効果的に冷却を行え、更に熱伝達手段に外部から熱を加えることでターボ分子ポンプ内部からベーキングが行える。
請求項（抜粋）：
ターボ分子ポンプのロータシャフト内部に棒状の熱伝達手段を設けると共に該熱伝達手段の一端をロータシャフトより突出させ、突出端で熱の授受を行う様構成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (3件)：
F04D 19/04
, F04D 29/58
, F28D 15/02
