特許
J-GLOBAL ID：200903051824845378
弾性表面波デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298921
公開番号（公開出願番号）：特開平6-152299
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 自動車電話及び携帯電話等の小型移動無線機器のRF(高周波)信号処理に適用しうる弾性表面波デバイスに関し、所望とする周波数特性を得ることを目的とする。【構成】 直列共振器12の櫛形電極12aの周期を電子線露光装置でバラツキなく形成できる値(2.8 μm )で形成し、保護膜12bの膜厚を並列共振器13の保護膜13bの膜厚(2000Å)とは異なる値(1170Å)で形成し、直列共振器12の共振周波数を並列共振器13の反共振周波数に一致させて、バンドパスフィルタ特性を得る。
請求項（抜粋）：
圧電基板(11)上に所望の周波数特性に応じたピッチの櫛形電極膜(12a)を形成し、該圧電基板(11)の該櫛形電極膜(12a)形成面上に該櫛形電極膜(12a)を保護する保護膜(12b)を形成してなる弾性表面波デバイスにおいて、前記保護膜(12b)の膜厚を周波数特性の前記所望の周波数特性とのずれに応じて変化させることを特徴とする弾性表面波デバイス。
IPC (2件)：
引用特許：
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