特許
J-GLOBAL ID：200903051827391238
超純水製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-011147
公開番号（公開出願番号）：特開平9-192643
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】 超純水の使用後に発生する排水中の過酸化水素濃度が一時的に高濃度に変動することに耐えることのできる水回収率の高い超純水製造装置を提供する。【解決手段】 超純水製造系71で製造した超純水を使用場所72で使用することにより発生する排水を、分別機構(1)で1次及び2次洗浄排水77、78に分別する。次いで各洗浄排水77、78中の過酸化水素濃度を過酸化水素検出装置14、12で測定し、その測定値に基づいて分別機構(3)、(2)を制御して最適の経路?@乃至?Cに分別して処理する。
請求項（抜粋）：
前処理装置と、前記前処理装置の処理水を脱塩処理して超純水を製造する超純水系と、前記超純水系で製造された超純水をその使用場所で使用することにより発生する排水の過酸化水素の濃度を測定する過酸化水素検出装置と、前記過酸化水素検出装置の出力に基づいて前記排水を分別する分別機構と、前記分別機構によって分別された各排水を各排水毎に処理する複数の処理経路からなる分別処理系とを有することを特徴とする超純水製造装置。
IPC (5件)：
C02F 1/00
, C02F 1/28
, C02F 1/32
, C02F 1/42
, C02F 1/44
C02F 1/00 J
, C02F 1/00 V
, C02F 1/28 D
, C02F 1/32
, C02F 1/42 A
, C02F 1/44 J
