特許
J-GLOBAL ID：200903051831855710
露光データ処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-278687
公開番号（公開出願番号）：特開平8-137087
出願日： 1994年11月14日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 仮に設計者がレジストのポジ又はネガタイプを間違えても、データの再処理等を行うことなく、設計データから露光データを自動的に、かつ容易に変換処理することができる。【構成】 パターン形状データベースに基づいて設計データパターンのポジ/ネガタイプを判定し、判定した設計データパターンのポジ/ネガタイプとプロセス条件データベースに含まれるレジストのポジ/ネガタイプとを比較し、比較した設計データパターンとプロセス条件データベースにおけるポジ/ネガタイプが異なる場合、パターン形状データベースに基づいて異なるパターンを削除した後、パターン形状データベースに基づいて新たに正しいパターンを発生させることにより、設計データを修正する。
請求項（抜粋）：
パターン形状データベースに基づいて設計データパターンのポジ/ネガタイプを判定し、判定した設計データパターンのポジ/ネガタイプとプロセス条件データベースに含まれるレジストのポジ/ネガタイプとを比較し、比較した設計データパターンとプロセス条件データベースにおけるポジ/ネガタイプが異なる場合、パターン形状データベースに基づいて異なるパターンを削除した後、パターン形状データベースに基づいて新たに正しいパターンを発生させることにより、設計データを修正することを特徴とする露光データ処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 502 Z
, H01L 21/30 502 M
