走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092441
公開番号（公開出願番号）：特開平5-266855
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】電子源として電界放出型電子銃を備え、さらには対物レンズと試料との間に電子線に対する減速電界を発生させる構造の走査電子顕微鏡において、像障害を取り除いてSN比の高い像観察を得られるようにする【構成】電子源から対物レンズ17に至る電子線通路を覆うように配置され、その内部に加速電界を形成する通路円筒21を設け、対物レンズ17と試料18との間に、一次電子線に対する減速電界を形成し、通路円筒21内に吸引された二次信号24を、対物レンズ17より電子源側で検出するようにした。

請求項（抜粋）：

電界放出型電子銃から放出された一次電子線を試料上で走査し、当該試料から発生した二次信号に基づいて像観察を行う走査電子顕微鏡において、電子源から対物レンズに至る電子線通路を覆うように配置され、その内部に一次電子線の加速電界を形成する通路円筒と、対物レンズと試料との間に、一次電子線に対する減速電界を形成する減速電界形成手段と、通路円筒内に吸引された二次信号を、対物レンズより電子源側で検出する二次信号検出手段とを具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/073 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭61-208736
特開平3-022339
特開昭64-000637

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