特許

J-GLOBAL ID：200903051840306533

研磨液および研磨方法

発明者： 安永 暢男 ,  木下 暢 ,  田中 伸一 ,  山本 良貴
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-012560
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ上に形成される絶縁膜、金属配線、あるいは石英またはガラス板等の鏡面研磨に用いられる研磨材および研磨方法に関し、アルカリ金属による汚染性がなく、パーティクル洗浄性に優れ、研磨性能を向上させて、実用性を高くすることを課題とする。【解決手段】 平均粒径が 0.1μm以下の炭酸バリウム超微粒子ゾルからなる研磨材、および、この研磨材を用いてケミカルメカニカル研磨を行い鏡面研磨して仕上げる研磨方法を構成する。

請求項（抜粋）：

平均粒径が 0.1μm以下の炭酸バリウム(BaCO3 )超微粒子ゾルからなることを特徴とする研磨液。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

C09K 3/14 550 D ,  H01L 21/304 321 P