特許
J-GLOBAL ID：200903051842914980
熱分解によってコーティングを生成する装置と方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安達 光雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-352266
公開番号（公開出願番号）：特開平7-003463
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 コーティング室14を通じて基板16を運ぶ支持手段20、コーティング室14に処理剤ガスを供給し散布する噴射ノズル10、およびコーティング室14から排ガスを排出する手段で構成されている。噴射ノズル10は、基板16の通路を横切って延びる溝穴12を備えている。この装置は案内ビーム上を走行するU形ローラおよび円筒ローラを具備するボギーに連結されている。【効果】 この装置によってコーティングの堆積の均一性が改善される。
請求項（抜粋）：
基板(16)をコーティング室(14,214a,214b)を通じて運ぶ支持手段(20)、処理剤ガスをコーティング室に供給して散布する手段、および排ガスをコーティング室から排出する手段(18,218a,218b)を備え、移動する熱ガラス基板(16)の一表面をガス状処理剤と接触させることにより熱分解によって該表面に金属または金属化合物のコーティングを生成する装置であって;コーティング室に処理剤ガスを散布する手段がコーティング室に直接開口する溝穴(12a,12b,112,212,312,412,512)を有する噴射ノズル(10,110,210,410,510)を備え、溝穴の内側の縦壁が互いに実質的に平行であり、溝穴が基板の通路を横切って延び、前記溝穴の長さが基板のコーティング幅と少なくとも実質的に等しく、および噴射ノズルの内壁が連続先細流路を形成して、処理剤ガスの流れを溝穴の開口の寸法に適合させ、前記先細流路の先細角(α)がいずれの場所でも14°を越えないことを特徴とする装置。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, C03C 17/09
, C03C 17/22
, C23C 16/22
