特許

J-GLOBAL ID：200903051851836682

液晶パネル用基板の洗浄方法

発明者： 藤本 哲男 ,  戸川 総史
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273689
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095051
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 液晶パネルに用いられる電極付きプラスチック基板の清浄度を高められる洗浄方法を提供する。【構成】 繰出しロール1から送り出した長尺な基板2を巻取りロール4に巻き取る間に、噴射洗浄法,超音波洗浄法,浸漬洗浄法(すすぎ)などを組み合わせて超純水により洗浄する。この超純水の性状は、25°Cにおける比抵抗が15.0MΩ・cm以上であり、粒径0.2μm以上の微粒子数が50個/ml以下、生菌数が1個/ml以下、さらに全有機物が100ppb以下である。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方の面に電極層が形成された可撓性を有する長尺な基板を、25°Cにおける比抵抗が15.0MΩ・cm以上、粒径0.2μm以上の微粒子数が1ml当り50個以下の超純水を用いて連続的に洗浄することを特徴とする液晶パネル用基板の洗浄方法。