特許
J-GLOBAL ID：200903051852394454
表面弾性波素子とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-113525
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291593
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 表面弾性波素子、例えば、フィルタや共振子の高周波特性、特に共振周波数が高くても、損失が少なく共振のQに優れ、耐電力特性の良好な表面弾性波素子の構造とその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 振動時にも表面弾性波振動部に直接触れないだけの空隙をあけて櫛形電極を備えたことを特徴とする表面弾性波素子。
請求項（抜粋）：
圧電基板と櫛形電極からなる表面弾性波素子において、前記櫛形電極の少なくとも主要部分が、前記圧電基板の表面弾性波振動部分近傍にあって、かつ直接触れないだけの空隙をあけて設けられたことを特徴とする表面弾性波素子。
IPC (2件)：
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