特許

J-GLOBAL ID：200903051856338974

プローブ装置

発明者： 山口 正雄
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054985
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221144
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：

【要約】【目的】 応力集中又は熱変位を補償することが可能なプローブカード保持具を備えたプローブ装置を提供する。【構成】 本プローブ装置は、被検査対象に接触してその電気的特性を測定するプローブ針12とそのプローブ針を案内するための案内手段13とを備えたプローブカード10と、そのプローブカードを所定の測定位置に保持固定するためのプローブカード保持具30とを備えている。そして、測定時に前記プローブカード保持具に加わる応力集中を緩和するようにプローブカード保持具の周方向に沿って孔部または溝部39を設けたり、あるいは測定時に前記プローブカード保持具に加わる熱変位を補償するように前記プローブカード保持具を熱膨張率の異なる材質を組み合わせて構成している。

請求項（抜粋）：

被検査対象に電気的に接触してその電気的特性を測定するプローブ針とそのプローブ針を上記被検査対象に対して案内するための案内手段とを備えたプローブカードと、そのプローブカードをプローブ装置の所定の測定位置に保持固定するためのプローブカード保持具と、を備えたプローブ装置において、測定時に前記プローブカード保持具に加わる応力集中を緩和するように前記プローブカード保持具の周方向に沿って孔部または溝部を設けたことを特徴とする、プローブ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-224246
  
• 特開平3-290918
  
• 特開平2-304368
  
• 特開平1-235344