特許
J-GLOBAL ID：200903051860043350
位置検出装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-052736
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267820
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 位置検出用の光学系で発生した非点収差を補正して、より正確に被検物の2次元的な位置検出を行う。【構成】 レチクルRのパターンが投影光学系PLを介してウエハW上に露光される。投影光学系PLの側面のアライメント系4において、ウエハW上のウエハークWMからのアライメント光が、対物レンズ7、ビームスプリッター6、負のシリンドリカルレンズ8、正のシリンドリカルレンズ9を経て焦点板11上にウエハマークWMの像を結像し、焦点板11上の像が結像レンズ11を介して撮像素子13M及び13Sで撮像される。シリンドリカルレンズ8,9の絶対回転角、相対回転角又は間隔を変えることにより、対物レンズ7及びビームスプリッター6により発生する非点収差を相殺する。
請求項（抜粋）：
被検物上の計測用マークからの位置検出用の光を位置検出光学系を介して観察面上に導き、該観察面上での前記位置検出用の光の位置から前記被検物の位置を検出する装置において、前記被検物と前記観察面との間の前記位置検出用の光の光路に沿って第1トーリックレンズ及び第2トーリックレンズを配置し、前記2つのトーリックレンズの内の少なくとも一方のトーリックレンズを該レンズの光軸を中心に回転可能又は該光軸に沿って移動可能に設け、前記2つのトーリックレンズの内の少なくとも一方のトーリックレンズを回転又は移動することにより、前記位置検出用の光に対して前記位置検出光学系で発生する非点収差を補正するようにしたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 9/00
