画像つなぎ合わせ機能を有する共焦点顕微鏡システム、光量偏心補正方法及びコンピュータプログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本直己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-334640
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170572
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】試料表面の測定範囲をずらして取得した複数の画像をつなぎあわせて広い範囲の合成画像を生成する際に、元の画像の光量偏心を補正して輝度むらの少ない合成画像を得ることができる共焦点顕微鏡システムを提供する。【解決手段】共焦点顕微鏡システム1は、均一な光反射率を有する鏡面試料を測定して得られた画像に基づいて算出した光学収差に起因する光量偏心の補正量を画素位置ごとに記憶する補正量記憶手段98と、通常の測定によって得られた試料表面の画像に対して補正量記憶手段98から読み出した補正量に基づく光量偏心の補正を画素位置ごとに実行する光量偏心補正手段97とを備えている。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

光学倍率によって決まる測定範囲内の試料表面からの光を共焦点光学系を介して受光素子で受光し、その受光情報を処理して得られる前記試料表面の画像を生成し、前記測定範囲をずらしながら生成した複数の画像をつなぎ合わせて1枚の合成画像を生成する画像つなぎ合わせモードを備えた共焦点顕微鏡システムであって、均一な光反射率を有する鏡面試料を測定して得られた画像に基づいて算出した光学収差に起因する光量偏心の補正量を画素位置ごとに記憶する補正量記憶手段と、通常の測定によって得られた試料表面の画像に対して前記補正量記憶手段から読み出した補正量に基づく光量偏心の補正を画素位置ごとに実行する光量偏心補正手段とを備えていることを特徴とする共焦点顕微鏡システム。

IPC (3件)：

G02B21/00 , G01B11/02 , G02B21/36

FI (3件)：

G02B21/00 , G01B11/02 Z , G02B21/36

Fターム (36件)：

2F065AA24 , 2F065AA51 , 2F065BB05 , 2F065EE03 , 2F065FF10 , 2F065FF41 , 2F065FF67 , 2F065GG06 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ15 , 2F065JJ26 , 2F065LL30 , 2F065LL32 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL62 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065PP12 , 2F065PP24 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2H052AA07 , 2H052AA08 , 2H052AF14 , 2H052AF17 , 2H052AF21 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (2件)

コンフォーカル顕微鏡及びその画像処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-359870 出願人：株式会社ニコン
特開平4-340515

前のページに戻る