特許
J-GLOBAL ID：200903051877780391
ボンダのXYテーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232832
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074840
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 ワイヤボンダなどのボンダを、高速精度でXY方向に移動させることができるXYテーブル装置を提供する。【構成】 移動テーブル3と、この移動テーブル3をガイド体2に沿って移動させる駆動手段7,8,MX,MYと、この移動テーブル3上に空気軸受14を介してX方向スライド自在に載置された第1のサブ移動テーブル10Aと、この第1のサブ移動テーブル10A上にY方向にスライド自在に載置された第2のサブ移動テーブル10Bと、この第1および第2のサブ移動テーブル10A,10BをXY方向に移動させるリニヤモータ11とから成り、上記移動テーブル3と第1のサブ移動テーブル10A、および第1のサブ移動テーブル10Aと第2のサブ移動テーブル10Bを、上記リニヤモータ11によるサブ移動テーブル10A,10Bの移動方向に屈曲自在なばね材12A,12Bにより結合している。
請求項（抜粋）：
移動テーブルと、この移動テーブルをガイド体に沿って移動させる駆動手段と、この移動テーブル上に空気軸受を介してX方向スライド自在に載置された第1のサブ移動テーブルと、この第1のサブ移動テーブル上にY方向にスライド自在に載置された第2のサブ移動テーブルと、この第1および第2のサブ移動テーブルをXY方向に移動させるリニヤモータとから成り、上記移動テーブルと第1のサブ移動テーブル、および第1のサブ移動テーブルと第2のサブ移動テーブルを、上記リニヤモータによるサブ移動テーブルの移動方向に屈曲自在なばね材により結合したことを特徴とするボンダのXYテーブル装置。
IPC (2件)：
H01L 21/60 301
, G12B 5/00
