特許
J-GLOBAL ID：200903051888361480
イオン照射装置とその制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061252
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225935
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 イオン源から引き出すイオンビームの発散角を、機械的な電極駆動機構を用いることなく電気的に制御することができるイオン照射装置とその制御方法を提供する。【構成】 イオン源2aのプラズマ電極20と抑制電極22との間に正電位にされる引出し電極36を追加し、所望のビームエネルギーVa および引出しビーム電流Ib に対し、所望のビーム発散角ωが得られるように、引出し電極36とプラズマ電極20間の電位差Ve を制御する。これは引出し電極36を設けると、プラズマ電極20と引出し電極36間および引出し電極36と抑制電極22間の電場の差によって静電レンズが形成され、それによるイオンビーム4の発散・集束を上記電位差Ve によって制御することができるからである。このようにすることにより、機械的な電極駆動機構を用いないので、イオンビーム4の発散角を精度良くかつ再現性良く制御することができる。
請求項（抜粋）：
いずれも丸いイオン引出し孔を有する電極であって、プラズマ生成容器に近い側から順に、正電位にされるプラズマ電極、正電位にされる引出し電極、負電位にされる抑制電極および接地電位にされる接地電極を有するイオン源からイオンビームを引き出してそれをターゲットに照射するイオン照射装置であって、真空の誘電率をε0 、引き出すイオンの質量をM、同イオンの価数をZ、素電荷をe、前記プラズマ電極のイオン引出し孔の半径をa、同イオン引出し孔の面積をS、前記プラズマ電極と引出し電極間の距離をd1 、前記引出し電極と抑制電極間の距離をd2 、前記プラズマ電極と引出し電極間の電位差をVe、前記プラズマ電極と接地電極間の電位差をVa 、前記イオン源から引き出すイオンビームの引出しビーム電流をIb 、同イオンビームのビーム発散角をωとした場合、電位差Ve を除外したこれらの各値の設定値を記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶されていた各設定値に基づいて、所望の電位差Va 、引出しビーム電流Ib およびビーム発散角ωに対して、【数1】なる演算またはこれと実質的に等価の演算を行って前記電位差Ve の値を求める演算手段と、当該電位差Ve がこのようにして求めた値になるように当該電位差Ve を与える電源の出力電圧を制御する制御手段とを備えることを特徴とするイオン照射装置。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, H01J 37/248
, H01J 37/317
, H01L 21/265
