特許
J-GLOBAL ID：200903051889239068
パタン形成材料及びパタン形成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301622
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142774
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【構成】アルカリ可溶性フェノール樹脂、一般式(1)【化1】(ただし、Rはt- ブトキシカルボニル基を表し、Xは水素,ハロゲン,アルコキシ基からなる群から選ばれた少なくとも一種の置換基を表し、Yはアルキル基を表す)【効果】短波長光露光装置,電子線照射装置を用いた露光法により高解像度のパタンを形成することができる。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性フェノール樹脂,溶解抑制剤,酸前駆体からなる化学増幅系レジスト組成物であって、酸を触媒とする反応によりアルカリ水溶液に対する溶解抑制効果を示す化合物が一般式(1)【化1】(ただし、Rはt- ブトキシカルボニル基を表し、Xは水素,ハロゲン,アルコキシ基からなる群から選ばれた少なくとも一種の置換基を表し、Yはアルキル基を表す)で表される化合物を含むことを特徴とするパタン形成材料。
IPC (5件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, G03F 7/30
, H01L 21/027
H01L 21/30 301 R
, H01L 21/30 361 L
